| ●ヒーティング管 管内 |
| ・ 粒子の蓄積を防ぐこの排気ライン用 パイプにはエルボ（継手）はありません。 ・ ポンプのメンテナンスサイクルを長くし、 オーバーホールコストを低減します。 ・ 設定温度さえ合えばヒーターの寿命まで →メンテナンスは必要ありません。 |
| ●従来の管内 |
| ・ 現状の排気管では温度の低下により排気管内に 粒子を蓄積させます。 ・ 現状のパイプ（排気管）メンテナンスは １〜３ヶ月に１回行われている。 ・ 装置とスクラバー（除外装置）の設置条件に 大いに影響され複雑な配管を強いられている。 →メンテナンス費用の増大従来の管内 |
| ---→ 従来の排気ラインでは配管の曲がり部分や配管の状態により配管を暖められない箇所がありました。 しかし、フレキシブルな排気ライン用ヒーター管を使用することにより配管作業が容易になり、無理な曲がりが 無い為、異物が溜まりづらくなります。 排気ライン用ヒーター管で管内を暖めることで管内温度のムラが無くなり管内に異物が溜まりづらくなります。 |
| ■排気ライン用ヒーター管 Heating Pipe |
| 仕様 | |
| 電源電圧 | AC-200V 単相 |
| 電気容量 | 260W / 1m |
| 設定温度 | Max 200℃ |
| 使用圧力 | Max 0.8MPa |
| コントローラー 総負荷容量 |
AC100Vの場合=1Kwまで AC200Vの場合=2Kwまで |
インプレックス株式会社 / IMPREX Inc.
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・Chuuou Branch ・High Vacuum System Div.