| 修理、オーバーホール | |
| ■RF電源 / DC電源 / マッチングボックス RF Generator / DC Power Supply / Matching Box |
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| ■ターボ分子ポンプ / クライオポンプオーバーホール Turbo Molecular Pumps / Cryo Pumps Overhaul |
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| ■チラー Chiller |
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| ■搬送用ロボット Robot Repair and O/H/ Exchange |
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| ■基板修理 Repair for PCB |
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| ■ドライポンプ Dry Pumps |
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| 再生 | |
| ■サセプター Susceptor |
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| ■ヒーターブロック Heater Block |
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| ■再コーティング Recoating |
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| ■ヒーター再生 Heater Refurbish |
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| ■ESC再生 ESC Refurbish |
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| ■ディフューザー再生 Diffuser Refurbish |
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| 洗浄 | |
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インプレックス株式会社 / IMPREX Inc.
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