SEMICON Japan 2007
■主　　催	：SEMIジャパン
■会　　期	：2007年12月5日(水)〜2007年12月7日(金)
■展示会場	：幕張メッセ
	〒261-0023　千葉県美浜区中瀬2-1
■小間番号	：3A-204
■出展予定品目	１．PMサービス 　PM Service　 　 　２．CVDヒーター再生／新品 　　　CVD PVD Heater Refurbish/CVD Heater Brand-New Heater 　 　３．マイクロフィルター　Micro Filter 　 　４．アノダイズコーティング 　Anodized coarting 　 　５．搬送ロボット修理/ O/H /エクスチェンジ 　Robot Repair and O/H/ Exchange 　 　６．RF電源修理／DC電源修理/マイクロウェーブ電源修理 　　　RF Generator / DC Power /Maicrowave Generator Repair 　 　７．ターボポンプオーバーホール　　TURBO PUMP O/H 　 　８．ESC再生　ESC Refurbish 　 　９．ベローズ／ベローズ再生　Bellows / Bellows Refurbish 　 １０．中古装置販売/据付・調整/改造　Used Equipment/Installation/Modificaion 　 １１．レチクルケース／マスクボックス／シッピングボックス／スミフポッド 　　　Reticlecase / Mask Box /Wafer Shipping Box / SMIF POD 　 １２．タッチパネル改造 P-5000/C-one・two/TCPシリーズ 　　　Touch Panel Modify P-5000,C-one,two,TCP Serise 　 １３．静電気対策商品／クリーン用品／クリーン紙 　　　Antistatic Goods / Clean Gear / Clean paper 　 １４．パーフロO−RING 　Perfuluoro O-RING 　 １５．ヒーター管／ヒータージャケット 　Heating Pipe / Heater Jacket 　 １６．石英／セラミック／シリコン／メタル製品 　　　Quartz / Ceramic / Silicon/SiN/SiC/ALN/ Metal Products 　 １７．真空ピンセット　 Vacuum Handling Tools 　 １８．サセプター再生/Ｐ−チャック再生　Susceptor Refurbish / P-Chuck Refrbish 　 １９．ウェーハ移載機、ソーター　Wafer Transfer system, SORTER 　 ２０．プラズマ溶射　Plasma Thermal Spray

インプレックス株式会社 / IMPREX Inc.
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　　・中央営業所　 　 　　 ・高真空機器事業部(HVSD)
　　・Chuuou Branch　　 ・High Vacuum System Div.