Repairing and overhaul |
■RF電源 / DC電源 /
マッチングボックス RF Generator / DC Power Supply / Matching Box |
■ターボ分子ポンプ /
クライオポンプオーバーホール Turbo Molecular Pumps / Cryo Pumps Overhaul |
■チラー Chiller |
■基板修理 Repair for PCB |
■ドライポンプオーバーホール Dry Pumps Overhaul |
■モーター、モータードライバー修理 Motor / Motor Driver Repair |
Revival |
■サセプター Susceptor |
■ヒーターブロック Heater Block |
■再コーティング Recoating |
■ヒーター再生 Heater Refurbish |
■ESC再生 ESC Refurbish |
■ディフューザー再生 Diffuser Refurbish |
Washing |
It'll correspond variously, so please inquire. |
インプレックス株式会社 / IMPREX
Inc.
〒889-1701 宮崎県宮崎市田野町甲6030-2 TEL :0985-86-3933 FAX
:0985-86-3934
6030-2 Tano-cho Miyazaki-shi Miyazaki 889-1701 Japan TEL
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・中央営業所
・高真空機器事業部(HVSD)
・Chuuou Branch ・High Vacuum System Div.